半導體凈化車間設計裝修平面布局圖
一、工程概括
半導體凈化車間設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體檢測、EP級管道及BA及管道。供應氣管尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理）電氣方案（空調設備動力配電等），弱點工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢氣處理。
二、結構圍護工程
墻板及吊頂：本工程隔墻采用企業(yè)口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426，玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級達到A級。巖棉密度：≥100kg/m3；導熱系數：≤0.046w/m.k；燃燒性能：A級（不燃）。耐火極限為30-120分鐘。廣泛應用于食品、電子、醫(yī)藥、飲料、生物研究等行業(yè)。
地板：本宮車間內地面采用防靜電型PVC地板，其中千級和百級車間采用防靜電型加高鋼板，其它為普通型PVC地板。PVC地板是當今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱為“輕體地材”使用非常廣泛。
三、暖通工程
設備：空調制冷負荷：經統(tǒng)計計算，總冷負荷約500kw。采用恒溫恒濕潔凈空調，夏季采用磁懸浮水冷機組，冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。
風管：風管采用共板法蘭風管。
水管：空調水管采用無縫鋼管。水泵采用星 三角降壓啟動。
四、特種氣體工程
工藝氣體種類多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進口成熟產品。
英文mocvd生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質，并且要生長多組分，大面積，薄層和超薄層異質材料，因此在mocvd系統(tǒng)的設計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。
五、空壓機工程
螺桿式空壓機組主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)，潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組要壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。
六。廢氣工程
由于半導體工藝對操作是清潔要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。
對酸性氣體、堿性氣體的處理一般采用濕式洗滌塔技術。
對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。因為半導體工藝工程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃度縮轉輪后再吸附或焚燒。
七、電氣工程
空調動力電工程；統(tǒng)計總用量電量約830kw，空調用電約330kw。
動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設，再分支車間及設備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。
八、弱點系統(tǒng)工程
1、高清視頻監(jiān)控 系統(tǒng)采用1200w網絡監(jiān)控攝像機，通過千兆交換組網在機房中心進行集中存儲，系統(tǒng)設計7*24小時間斷運行，實現1080p存儲1個月以上，管理人員可通過電腦進行監(jiān)控查看，錄像回放等操作。
2、門禁管理系統(tǒng) 門禁系統(tǒng)已成為安防系統(tǒng)極其重要的組成部分，門禁系統(tǒng)將監(jiān)控被動防范的方式進行了主動防范補充。通過網絡一體式門禁管理機，配合門禁專用電源。電磁鎖可將主要出入口設置為授權式管理，避免了與車架無關人員的頻繁出入。
九、只能平臺
潔凈系統(tǒng)中的風量控制采用文丘李閥門，實時監(jiān)控流量計狀態(tài)，可在先診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。中控室中把空調、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數集成管理、顯示、儲存，并對數據進行打印輸出及溯源查找。并經設備輸出在參觀通道播放，方便參觀。
十、純水工程
1、設備產水能力：
2、RO系統(tǒng)：一級RO反滲透產水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時）；
二級RO反滲透產水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時）；
3、EDI系統(tǒng)：EDI產量水量≥5m3/h（水溫在25℃時）
4、終端拋光混床產水能力為：≥5m3/h（水溫保證在25℃時）
5、設備產水水質指標：
終端拋光混床產水能力為：≥18.00MΩ.com（水溫保證在25℃時，測點在拋光混床出口3米內，95%時間）
其他技術指標參照我國的電子級水電技術指標（GB11446.1-1977)EW-1
由于設備用水的級別各不相同，可以在本設計流程中的某段引出合適的使用點即可。對于超純水必須采用UPVC材質（因金屬管道會析出離子），特別對于園晶的生產，超純水會對額定的離子限值嚴格，所以采用進口的UPVC純水管道對產品質量有保證。
十一。廢氣處理工程
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