青浦電子無塵車間工程裝修設計要求
設計電子無塵車間工程,以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無塵室(區(qū))除對細顆粒進行嚴格控制外,溫濕度控制和照度(甚至光源要求)微震也有較嚴格的要求,以消除靜電對產(chǎn)品生產(chǎn)的影響,使環(huán)境滿足電子產(chǎn)品潔凈環(huán)境下生產(chǎn)工藝的要求。
按照現(xiàn)行標準,電子制造廠萬級潔凈室噪聲級(空態(tài)):不得超過65dB(A)
1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不能低于60%,水平單向流潔凈室不能低于40%,否則為局部單向流。
2.電子制造廠潔凈室和室外靜壓差不應低于10Pa,空氣潔凈度不同時潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)靜壓差也不低于5Pa。
3.在電子制造行業(yè),萬級潔凈室新鮮空氣量應在以下兩項中取最大。
4.補償室內(nèi)排風量與維持室內(nèi)正壓值新鮮空氣量的總和。
5.確保向潔凈室提供每人每小時新鮮空氣量不少于40m2。
電子無塵車間潔凈室(區(qū))溫,濕度要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求來決定,在生產(chǎn)工藝沒有特定要求的情況下,可以采用20~26°C的溫度和30%~70%的相對濕度。 人員凈化用室及生活用室溫度可采用16~28°C。 按照符合國際ISO標志的中國國家標準GB-50073規(guī)定,該潔凈室(區(qū))潔凈度等級為1-9級,包括1-5級,氣流流型采用單向流或者混合流,風速0.2-0.45m/s; 6級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)50-60次/h; 7級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)15-25次/h; 8-9級氣流流型是非單向流的,換氣次數(shù)為10-15次/h。
青浦電子無塵車間工程裝修設計
青浦電子無塵車間裝修設計
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