浦東半導(dǎo)體無(wú)塵車間裝修設(shè)計(jì)及注意事項(xiàng)
2021年，全世界經(jīng)濟(jì)經(jīng)歷了疫情的嚴(yán)肅考驗(yàn)，伴隨著后疫情時(shí)代的到來(lái)，中國(guó)經(jīng)濟(jì)向好的新一輪工業(yè)革命浪潮正迅猛推進(jìn)，同時(shí)極大地促進(jìn)了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)的革新，無(wú)論是從科技，還是從經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度看，半導(dǎo)體在中國(guó)制造領(lǐng)域里都是非常重要的。
作為致力于半導(dǎo)體高科技生產(chǎn)服務(wù)的尚文凈化公司，所在的凈化工程行業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)非常激烈，而且目前也由價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)轉(zhuǎn)向?yàn)樾璺教峁└嗟膬r(jià)值競(jìng)爭(zhēng)，在這種形勢(shì)下，尚文凈化公司更是積極地參與到政府主導(dǎo)的半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈凈化工程建設(shè)項(xiàng)目中來(lái)。電子級(jí)多晶硅是整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的源頭和基礎(chǔ)，而我國(guó)的電子級(jí)多晶硅材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，供應(yīng)受制于人，半導(dǎo)體材料科技有限公司電子級(jí)多晶硅的成功產(chǎn)出填補(bǔ)了這一空白，同時(shí)半導(dǎo)體公司圍繞著主產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)服務(wù)的新項(xiàng)目建設(shè)拉開(kāi)了帷幕。
半導(dǎo)體行業(yè)要想獲得高質(zhì)量的成品，需要嚴(yán)格控制空氣中的粒子數(shù)，此時(shí)，無(wú)塵車間就起到了決定性的作用。
半導(dǎo)體無(wú)塵車間裝修潔凈室系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
1、壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa；
2、平均風(fēng)速：0.3－0.5m/s（百級(jí)）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測(cè)試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測(cè)試）
8、潔凈度等級(jí)：百級(jí)－30萬(wàn)級(jí)用于測(cè)試區(qū)域，千級(jí)－30萬(wàn)級(jí)用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9、ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電釋放可能對(duì)產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。
浦東半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)及注意事項(xiàng)
1、半導(dǎo)體凈化無(wú)塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進(jìn)，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。
3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，凈化無(wú)塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃、細(xì)菌等在無(wú)塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至程度。
4、半導(dǎo)體無(wú)塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。
在半導(dǎo)體無(wú)塵車間的建造過(guò)程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點(diǎn)難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。
